特許明細書

液浸露光装置の訳を見直す3

見直しの気づきの最終版3です。"flow past"の検討The method also includes substantially preventing a gas from flowing past a deformable seal...
学習記録

ループから抜け出す判断軸

正確さを求めるほどに訳が止まり、作業が進まなくなる部分が増えました。一言一言を見直すことは大事です。しかし、それに非常に時間がかかってしまうとしたらそれは本当に良いこと、ではありません。今のような「勉強ができる状態」がずっと続くわけでないこ...
特許明細書

思い込みと言語感覚

昨日ようやく翻訳を終えました。この作業の中で考えたこと、あるいは脱線しながら見えてきたことを、今更ながら振り返っておこうと思います。背景となった文(原文):In this way, liquid 11 can be provided in ...
特許明細書

液浸露光装置の訳を見直す2

前回に続き、自力翻訳と公開訳の比較を通じて、訳文と構文、技術的背景の理解を見直しました。前回に続き、ASMLの液浸露光装置に関する特許明細書を題材にしています。In this way, liquid 11 can be provided i...
特許明細書

見直しの見直し

前回自力翻訳に関し、ブログでヒントをいただきありがとうございます。During exposure, the substrate table is moved relative to the immersion system (and the...
学習記録

液浸露光装置の訳を見直す1

自力翻訳と公開訳の比較を見直しました。今回は、ASMLの特許明細書を題材にしながら振り返ります。Various orientations and numbers of in- and out-lets positioned around t...
特許明細書

液浸露光を翻訳する中で理解が深まった『見かけ上の波長』

先月未完であった自力翻訳を終え、現在は見直し作業に入っています。自力翻訳をしたのは、以下の明細書です。US8233134B2"Lithographic apparatus and device manufacturing method"AS...
記録

アウトプット3ヶ月目の振り返り

随分間隔が空いた更新になりました。前回立てた目標の振り返り・新たな明細書を読む思った以上に時間がかかるものの、分野を絞り継続中です。ざっくり内容を把握するには結局調べ物も多いのですが、時間を決めて読み続けます。・週2回のブログ更新を継続記事...
学習記録

ナノインプリントリソグラフィ

これまでリソグラフィと言えばフォトリソグラフィを前提に考えてきました。しかし実際には、リソグラフィ技術には様々な方式が存在します。今日はその中でも特にナノインプリントリソグラフィ(NIL)に焦点を当ててみます。リソグラフィとはリソグラフィ(...
特許明細書

露光装置の構造(整理メモ)

翻訳作業の中で整理した露光装置の構造についてまとめました。露光装置の構造露光装置は、大きく以下の要素で構成されます。光学系+精密駆動ステージ+制御(位置決めなど)システム+温度・真空管理(環境制御)システム光学系を詳しく見ると、照明系、投影...