特許明細書 露光装置の構造(整理メモ) 翻訳作業の中で整理した露光装置の構造についてまとめました。露光装置の構造露光装置は、大きく以下の要素で構成されます。光学系+精密駆動ステージ+制御(位置決めなど)システム+温度・真空管理(環境制御)システム光学系を詳しく見ると、照明系、投影... 2025.02.15 特許明細書
特許明細書 液浸露光における脱イオン処理の必要性 先日読んでいた液浸露光装置の特許明細書の一部、脱イオン装置に関する記述についてまとめます。液浸露光における脱イオン処理の必要性半導体製造では回路線幅がナノメートル(nm)レベルの精密加工が行われており、わずかな不純物の混入が製造時の良品率に... 2025.02.10 特許明細書
記録 アウトプット2ヶ月目の振り返り 先月、以下4つ課題を設定し新年最初の1ヶ月目を過ごしました。時間管理細切れアウトプット手書きで理解を深めるまずは一周する(全体把握)これらの課題に基づいた取り組みを振り返り修正していきます。今回は「1.時間管理、4.全体把握」、「2.細切れ... 2025.02.03 記録
学習記録 電磁誘導とは 前回の記事では、「電流が磁場を生じること」と、「電流が磁場から力を受けること」を確認しました。では、逆に、磁場から電流を生じさせることができるでしょうか。この現象を、電磁誘導(Electromagnetic Induction)といいます。... 2025.02.02 学習記録
学習記録 電流と磁場 電流が生み出す磁場とその影響 以前「電気機械」の具体例として、モーターや発電機を例に挙げました。これらの装置の基本原理には「電磁誘導」という現象が関わっています。電磁誘導とは、磁場の変化によって電流が生じる現象ですが、その前提として、そもそも電流が磁場を生み出すことを理... 2025.02.02 学習記録
学習記録 摩擦で生まれる静電気のしくみ 身近な静電気現象ドアノブを触るとパチッと痛みが走る、また下敷きで髪の毛をこすると髪の毛が逆立つ、どちらも静電気が関係しています。これらの現象は、摩擦によって物体の表面から電子が移動することで起こります。摩擦で発生する静電気私たちの身の回りに... 2025.02.02 学習記録