特許明細書

翻訳作業の中で整理した露光装置の構造についてまとめました。露光装置の構造露光装置は、大きく以下の要素で構成されます。光学系＋精密駆動ステージ＋制御(位置決めなど)システム＋温度・真空管理(環境制御)システム光学系を詳しく見ると、照明系、投影...

先日読んでいた液浸露光装置の特許明細書の一部、脱イオン装置に関する記述についてまとめます。液浸露光における脱イオン処理の必要性半導体製造では回路線幅がナノメートル（nm）レベルの精密加工が行われており、わずかな不純物の混入が製造時の良品率に...