学習記録

これまでリソグラフィと言えばフォトリソグラフィを前提に考えてきました。しかし実際には、リソグラフィ技術には様々な方式が存在します。今日はその中でも特にナノインプリントリソグラフィ（NIL)に焦点を当ててみます。リソグラフィとはリソグラフィ（...

前回の記事では、「電流が磁場を生じること」と、「電流が磁場から力を受けること」を確認しました。では、逆に、磁場から電流を生じさせることができるでしょうか。この現象を、電磁誘導（Electromagnetic Induction）といいます。...

以前「電気機械」の具体例として、モーターや発電機を例に挙げました。これらの装置の基本原理には「電磁誘導」という現象が関わっています。電磁誘導とは、磁場の変化によって電流が生じる現象ですが、その前提として、そもそも電流が磁場を生み出すことを理...

身近な静電気現象ドアノブを触るとパチッと痛みが走る、また下敷きで髪の毛をこすると髪の毛が逆立つ、どちらも静電気が関係しています。これらの現象は、摩擦によって物体の表面から電子が移動することで起こります。摩擦で発生する静電気私たちの身の回りに...

前回の記事では、高屈折率の液体を用いることで臨界角を大きくし、液浸露光装置における光の収集効率が向上する様子を説明しました。今回は、以下の特許明細書を参考に、「開口数」「解像度」「焦点深度」がどのように微細化に寄与するのかを説明します。特許...

液浸露光が微細化にどのように貢献するのかを理解するには、光が持つ基本的な性質とその振る舞いを知ることが必要です。本記事では、液浸露光の概要、光学的な基礎、そして臨界角の特性を中心に解説します。次の記事では、液浸露光の解像度向上における具体的...

前回の記事で述べたとおり、レーザー技術は科学技術の発展において不可欠な存在です。これは、半導体製造分野でも例外ではありません。露光装置は、半導体製造において回路パターンをシリコンウエハ上に縮小投影する装置です。かつては回路線幅が数マイクロメ...

先日、身近な人工光源である白熱電球・蛍光灯・LEDについて整理しました。光との関わりは燃焼光源から始まり、白熱電球の発明によって、時間や場所を問わず光を使えるようになりました。その後、よりエネルギー効率の高い蛍光灯、さらには省エネの観点から...

光源には自然光源と人工光源があり、日常でよく使われている人工光源の発光原理には大きな違いがあります。また発光原理が異なると、光源が放つ光の波長（分光分布）も異なり、その分光分布の違いにより、白熱電球・蛍光灯・ＬＥＤ電球がそれぞれ異なる明るさ...