学習記録

前回の記事では、高屈折率の液体を用いることで臨界角を大きくし、液浸露光装置における光の収集効率が向上する様子を説明しました。今回は、以下の特許明細書を参考に、「開口数」「解像度」「焦点深度」がどのように微細化に寄与するのかを説明します。特許...

液浸露光が微細化にどのように貢献するのかを理解するには、光が持つ基本的な性質とその振る舞いを知ることが必要です。本記事では、液浸露光の概要、光学的な基礎、そして臨界角の特性を中心に解説します。次の記事では、液浸露光の解像度向上における具体的...

前回の記事で述べたとおり、レーザー技術は科学技術の発展において不可欠な存在です。これは、半導体製造分野でも例外ではありません。露光装置は、半導体製造において回路パターンをシリコンウエハ上に縮小投影する装置です。かつては回路線幅が数マイクロメ...

先日、身近な人工光源である白熱電球・蛍光灯・LEDについて整理しました。光との関わりは燃焼光源から始まり、白熱電球の発明によって、時間や場所を問わず光を使えるようになりました。その後、よりエネルギー効率の高い蛍光灯、さらには省エネの観点から...

光源には自然光源と人工光源があり、日常でよく使われている人工光源の発光原理には大きな違いがあります。また発光原理が異なると、光源が放つ光の波長（分光分布）も異なり、その分光分布の違いにより、白熱電球・蛍光灯・ＬＥＤ電球がそれぞれ異なる明るさ...