学習記録

前回記事では、EUVリソグラフィ用の光学素子保護層が3層構造であり、それぞれに水素の拡散や再結合を制御する役割があることを整理しました。ではこの層は、実際どうやって作られているのでしょうか。性能に関わるような層構造が設計できたとしても、それ...

前回の記事（「EUV露光装置で生じる汚染物質の野除去」）では、炭素汚染物のうちC-C単結合を有するものは、σ結合のみで電子の偏りがないため、酸化的手法では分解が難しく、還元的に作用する水素ラジカルが有効であることを紹介しました。今回は、その...

新たな明細書翻訳に取りかかるにあたり、今回は、背景知識の整理から始めます。アドバイスをいただきありがとうございました。半導体製造の前工程における中核プロセスであるリソグラフィ（塗布・露光・現像）のうち、「露光」を担う露光装置についてはこれま...

ASML NETHERLANDS B.V.「FLUID PURGING SYSTEM（WO2021/249705）」を題材とし、半導体製造装置における光学素子のパージシステムに関する翻訳に取り組みました。この明細書においては、光学素子の位置...

正確さを求めるほどに訳が止まり、作業が進まなくなる部分が増えました。一言一言を見直すことは大事です。しかし、それに非常に時間がかかってしまうとしたらそれは本当に良いこと、ではありません。今のような「勉強ができる状態」がずっと続くわけでないこ...

自力翻訳と公開訳の比較を見直しました。今回は、ASMLの特許明細書を題材にしながら振り返ります。Various orientations and numbers of in- and out-lets positioned around t...

これまでリソグラフィと言えばフォトリソグラフィを前提に考えてきました。しかし実際には、リソグラフィ技術には様々な方式が存在します。今日はその中でも特にナノインプリントリソグラフィ（NIL)に焦点を当ててみます。リソグラフィとはリソグラフィ（...

前回の記事では、「電流が磁場を生じること」と、「電流が磁場から力を受けること」を確認しました。では、逆に、磁場から電流を生じさせることができるでしょうか。この現象を、電磁誘導（Electromagnetic Induction）といいます。...

以前「電気機械」の具体例として、モーターや発電機を例に挙げました。これらの装置の基本原理には「電磁誘導」という現象が関わっています。電磁誘導とは、磁場の変化によって電流が生じる現象ですが、その前提として、そもそも電流が磁場を生み出すことを理...

身近な静電気現象ドアノブを触るとパチッと痛みが走る、また下敷きで髪の毛をこすると髪の毛が逆立つ、どちらも静電気が関係しています。これらの現象は、摩擦によって物体の表面から電子が移動することで起こります。摩擦で発生する静電気私たちの身の回りに...