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装置を動詞化する

ご指摘をありがとうございました。いただいたコメントをきっかけに、"load lock"という言葉の本来の構造を再度確認しました。前回のブログでは、主にパージガスの流れ(discharge)に焦点を当てていました。そのため、"load loc...
2025.11.01
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Chisou
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