2025-10

特許明細書

3D NAND のエッチング装置に関する特許明細書の検討(その2)

例2もうひとつ、こちらもprocessが用いられており、他にも自分の訳語選択に課題があったため、まとめます。The controller, depending on the processing requirements and/or th...
特許明細書

3D NAND のエッチング装置に関する特許明細書の検討

出典:WO2021173154(Lam Research)”REDUCTION OF SIDEWALL NOTCHING FOR HIGH ASPECT RATIO 3D NAND ETCH”(Lam Research)本明細書には、装置制...