特許明細書 パージガスの流れと “discharge” の意味
今回は、半導体製造装置のロードロック装置に関する明細書を訳しました。対象は、前回参照していた「ロードロック装置」に関する特許（US9228685B2）です。ロードロック装置とはロードロックとは、真空環境のチャンバと外部大気圧環境をつなぐ中継...
2025-10
特許明細書 
ツール 黒い点と再起動、備え
デスクトップ PC の画面全体が、黒い点で覆われました。これまで見たことのない症状に違和感を覚えました。症状と対策少し席を離れて戻ると、デュアルディスプレイ環境において片方の画面がまだらになっており、数秒後にはその点が端から消え、今度はもう...
学習記録 見直しの見直し
用語：process requirementsThe controller, depending on the processing requirements and/or the type of system, may be progra...
特許明細書 3D NAND のエッチング装置に関する特許明細書の検討（その2）
例２もうひとつ、こちらもprocessが用いられており、他にも自分の訳語選択に課題があったため、まとめます。The controller, depending on the processing requirements and/or th...
特許明細書 3D NAND のエッチング装置に関する特許明細書の検討
出典：WO2021173154（Lam Research）”REDUCTION OF SIDEWALL NOTCHING FOR HIGH ASPECT RATIO 3D NAND ETCH”（Lam Research）本明細書には、装置制...