2025-09

実際の蒸気圧曲線蒸気圧曲線の図は、実際の特許明細書にも重要な図として登場します。JP6604911B2の特許です。出典：「エッチング処理方法」（東京エレクトロン）蒸気圧曲線の登場背景少しざっくりですが、この特許を説明します。この明細書は、N...

今回、エッチング処理に関する特許を読む中で蒸気圧曲線が登場しました。基礎を整理し直し、次回明細書に進みます。蒸発と沸騰（気化現象）物質が液体から気体へ変わる「気化」には、蒸発と沸騰があります。蒸発：液体または固体の表面だけでおこる気化の現象...