学習記録 光学素子のパージ ASML NETHERLANDS B.V.「FLUID PURGING SYSTEM(WO2021/249705)」を題材とし、半導体製造装置における光学素子のパージシステムに関する翻訳に取り組みました。この明細書においては、光学素子の位置... 2025.06.01 学習記録特許明細書